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氧化鋁蝕刻環(huán)
  • 氧化鋁蝕刻環(huán)
產(chǎn)品名稱

氧化鋁蝕刻環(huán)
加工精度 0.001mm
是否定制 來圖定制
粗糙度 0.001um
材料成分 氧化鋁
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       陶瓷蝕刻環(huán)是半導(dǎo)體刻蝕工藝的關(guān)鍵部件。當(dāng)選擇鋁合金作為刻蝕腔體材料時(shí)，很容易造成金屬顆粒污染。因此，高純度（99.5% 以上）氧化鋁陶瓷被用于制造陶瓷蝕刻環(huán)，作為等離子刻蝕設(shè)備的腔體材料。

高純氧化鋁99.7%-99.9%
       機(jī)械強(qiáng)度高、高耐磨性、高電絕緣、高化學(xué)穩(wěn)定性、良好的耐熱性和耐腐蝕性。目前，采用陶瓷研磨盤研磨半導(dǎo)體硅片是最優(yōu)越最前沿的研磨方法。采用雙面研磨工藝對(duì)切割好的硅片進(jìn)行研磨，通過改善研磨工藝(磨盤材質(zhì)、研磨液、研磨壓力及研磨轉(zhuǎn)速等)來提高研磨片的質(zhì)量;尤其是使用陶瓷盤代替鑄鐵盤，避免研磨時(shí)對(duì)晶片的主面造成傷痕或污染，減少了金屬離子的引入，可減少硅片的后續(xù)加工量縮短了后續(xù)工序(腐蝕)時(shí)間，提高了生產(chǎn)效率，而且減少了硅片加工的損耗，大大地提高了硅片的利用率。

jundro 陶瓷在氧化鋁陶瓷加工領(lǐng)域展現(xiàn)出多維度的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)，憑借深耕行業(yè)多年的技術(shù)沉淀與工藝創(chuàng)新，為全球半導(dǎo)體、電子封裝、新能源等領(lǐng)域的客戶提供了高精度、高可靠性、定制化的氮化鋁陶瓷產(chǎn)品及解決方案，成為眾多客戶項(xiàng)目落地的核心助力。

 

 

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