多孔陶瓷晶片卡盤(pán) 多孔陶瓷晶片卡盤(pán)通常用于在晶片被探測(cè)(測(cè)試)時(shí)將晶片固定在適當(dāng)?shù)奈恢谩４蠖鄶?shù)晶片是通過(guò)在晶片背面施加少量真空來(lái)固定的。大多數(shù)分析探測(cè)系統(tǒng)配備有晶片卡盤(pán)。 晶圓卡盤(pán)有多種形狀、尺寸和材料可供選擇。它們通常是圓形的，比晶片尺寸稍大。常見(jiàn)的尺寸范圍從直徑5